“董事长，浸没原理虽然是我第一个公开提出来的，但BSEC的邓院士和钱所长带领BSEC光源研究所，在攻克光刻机光源波长193nm的世界性难题进行了近十年的潜心研究，在我之前就提出来以纯净水作为光源介质的...